洁净室中的气流速度规定

这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求；

(1)送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度。

(2)吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。

洁净室构成：

洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质---的洁净室。

(1)---系统：包括吊杆(ceiling rod)、钢梁(i-beam或u-beam)、---格子梁(ceiling grid或ceilingframe)。

(2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。

(3)隔墙板(partitional wall)：包括窗户、门。

(4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。

(5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。