防静电

洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其的一个不可忽视的方面。

所谓静电，是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。

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乱流式 (turbulent flow)

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(hepa) 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板乱流式回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。ulsi制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。