洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，---是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。箱体表面为冷扎钢板多层酸洗静电喷涂而成，出风口均有---的气流，---净化的效果。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产的湿度范围为35—45%。

洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。金刚砂硬化剂耐磨地板特性：1、固化后的表面硬度高，耐磨损，不起尘。ulsi制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。

赛达净化坚持秉承以科技为先导、以市场为导向的科学管理理念，凭借规范化管理及的技术力量在食品、---、化妆品、微电子等诸多工业领域设计承建了洁净sc厂房、---厂房、无菌室、实验室及相关配套产品。我们的宗旨：！诚信！！

工程的规划首先要加强对设计单位设计净化工程图纸的外部---与---。充分发挥洁净室图纸---中心的职能作用，像工程质监站---施工一样，---、---设计量。洁净工程图纸的高低是关系到此洁净工程的建造成本控制等好坏的影响因素。

送风口由静压箱、散流板、过滤器与法兰四件组成；与风管的接口处有侧接与顶接两种。箱体表面为冷扎钢板多层酸洗静电喷涂而成，出风口均有---的气流，---净化的效果；是用以改造和新建1000—300000级各级洁净室的终端空气过滤设备，满足净化要求的关键设备。 送风口可选功能：  1、送风口可根据客户不同要求选择侧面送风和顶部送风。洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较高的洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2。法兰也可选择方形或圆形口，方便接风管的需要。